单晶硅片的技术标准

单晶硅片的技术标准范围本要求规定了单晶硅片的分类、技术要求、包装以及检验规范等 本要求适用于单晶硅片的采购及其检验。规范性引用文件ASTM F42-02 半导体材料导电率类型的测试方法ASTM F26