2021年实验二半导体电阻率和方阻测量的专项研究

试验二 半导体电阻率和方阻测量研究一 、试验意义电阻率是半导体材料关键电学参数之一, 能够反应出半导体内浅能级替位杂质浓度，薄层电阻是表征半导体掺杂浓度一个关键工艺参数。测量电阻率和薄层电阻方法很多