离子注入SOI及SOI基准三维光子晶体的研究的开题报告

离子注入SOI及SOI基准三维光子晶体的研究的开题报告题目：离子注入SOI及SOI基准三维光子晶体的研究一、选题背景和意义随着信息时代的到来和人们对高速、高密度、低功耗和小型化设备的需求不断增加，基于