基于对称金属包覆波导的高精度微位移测量

基于对称金属包覆波导的高精度微位移测量基于对称金属包覆波导的高精度微位移测量摘要：在微纳尺度下的位移测量一直是一个具有挑战性的问题。本论文提出了一种基于对称金属包覆波导的高精度微位移测量方法。该方法利