超硬材料薄膜涂层研究进展及应用

超硬材料薄膜涂层研究进展及应用 超硬薄膜是指维氏硬度在40GPa以上的硬质薄膜。不久以前还只有金刚石膜和立方氮化硼(c-BN)薄膜能够到达这个标准，前者的硬度为50-100GPa(与晶体取向有关)，后