磁控溅射生长AlN钝化层的研究

磁控溅射生长AlN钝化层的研究磁控溅射生长AlN钝化层的研究随着电子器件的高速发展，对材料的性能进行了更高要求，这促使着晶体材料制备的需求。AlN是一种典型的带隙宽度较大的宽禁带半导体材料，它在高温、