磁控溅射和电弧离子镀技术和应用介绍资料
薄膜/涂层制备技术(磁控溅射和电弧离子镀)及应用雷 浩薄膜/涂层的概念与特点概念:薄膜/涂层是一类用特殊方法获得的,依靠基体支撑并具有与基体不同的结构和性能的二维材料。薄膜(Films):厚度 <
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