无驱动结构的硅微机械陀螺若干关键技术研究的任务书

无驱动结构的硅微机械陀螺若干关键技术研究的任务书任务书任务目标:本研究任务的主要目标是探索和研究无驱动结构的硅微机械陀螺的关键技术，包括设计、制备、模拟和测试等方面的技术。任务内容:1. 文献综述：