《多晶制绒工艺a》PPT课件

- 多晶制绒 - 目前,多晶硅绒面的制备技术主要有机械刻槽、等离子刻蚀和各向同性酸腐蚀.机械刻槽和等离子刻蚀制备出的绒面陷光效果非常好,但需要相对复杂的处理工序和昂贵的加工系统