薄膜面内微结构对热物性的调控研究

薄膜面内微结构对热物性的调控研究薄膜面内微结构对热物性的调控研究摘要：薄膜面内微结构具有重要的热传导特性，通过调控薄膜的微结构进行热物性的调节已成为热管理领域的研究热点。本文通过对薄膜面内微结构和热物