新型高Q值硅基RF--MEMS谐振器的开题报告

新型高Q值硅基RF--MEMS谐振器的开题报告一、项目概述无线通信技术发展迅速，人们对通讯设备的性能和可靠性的要求越来越高。高性能和高可靠性的滤波器是保证无线设备性能的关键因素之一。目前，硅基射频微机