荷能Xe离子注入SiC中缺陷和力学性能演化行为的研究的中期报告

荷能Xe离子注入SiC中缺陷和力学性能演化行为的研究的中期报告中期报告主要分为以下几个部分：研究背景和意义、研究进展、下一步计划和存在问题。一、研究背景和意义硅碳化物（SiC）是一种高温、高硬度、高强