多晶硅生产中HC1回收与氯硅烷双效精馏工艺研究

多晶硅生产中HC1回收与氯硅烷双效精馏工艺研究摘要：多晶硅生产流程中的氯化硅烷精馏操作是一个能耗较高、成本较大的环节，如何提高回收利用率，降低成本，已成为该行业的关注焦点。本文针对该问题，提出了一种H