针对工艺偏差的MEMS器件结构参数优化设计的开题报告

针对工艺偏差的MEMS器件结构参数优化设计的开题报告一、研究背景和意义MEMS（Micro-Electromechanical Systems，微电子机电系统）技术是微纳加工技术领域中的重要分支之一。