PLD制备InGaZnO薄膜及其物理性质研究的中期报告

PLD制备InGaZnO薄膜及其物理性质研究的中期报告中期报告一、研究背景及目的PLD (Pulsed laser deposition)技术是近年来发展起来的一种新的薄膜制备技术，具有高速、高效、高