辅助磁场约束非平衡磁控溅射等离子体放电特性研究

辅助磁场约束非平衡磁控溅射等离子体放电特性研究大连理工大学 硕士学位论文辅助磁场约束非平衡磁控溅射等离子体放电特性研究 姓名:麻冰欣 申请学位级别:硕士 专业:等离子体物理 指导教师:任春生 2008