基于多粒度宏建模的MEMS非标结构设计方法

基于多粒度宏建模的MEMS非标结构设计方法摘要：微电子机械系统（MEMS）在许多领域都具有广泛的应用前景，但是由于其非常规结构和特殊性质，MEMS的设计常常具有挑战性，需要采用新的设计方法。虽然传统的