气体流场作用下直线驱动二维气浮工作台的振动特性研究综述报告

气体流场作用下直线驱动二维气浮工作台的振动特性研究综述报告气体流场作用下直线驱动二维气浮工作台的振动特性研究综述引言：气浮技术是一种通过在工作台上产生气体流场，利用气体流动的稳定性和导向性来实现载荷支