集成电路中PVD镀膜及干法清洗工艺研究的开题报告

集成电路中PVD镀膜及干法清洗工艺研究的开题报告一、选题背景随着集成电路工艺的不断发展，制造出高可靠性、高集成度、高精度的集成电路成为了工艺的目标之一，其中PVD镀膜及干法清洗工艺具有重要的作用。PV