大尺寸光学元件面形检测平台开发及误差补偿研究的中期报告

大尺寸光学元件面形检测平台开发及误差补偿研究的中期报告一、项目背景和目标随着现代科技中对光学元件的精度要求越来越高，光学元件工艺制造和检测的精度也面临着更高的要求。在现有的检测设备中，大尺寸光学元件的