高性能磁控溅射靶枪的设计

西安理工大学硕士学位论文高性能磁控溅射靶枪的设计姓名：张喜凤申请学位级别：硕士专业：微电子学与固体电子学指导教师：马剑平20080301搂要 题 目：高性能磁控溅射靶枪的设计 学科：微电子学与固体电子