硅外延装备工艺控制软件设计与实现的任务书

硅外延装备工艺控制软件设计与实现的任务书任务名称：硅外延装备工艺控制软件设计与实现任务目标：本任务主要目标是设计与实现硅外延装备工艺控制软件。该软件需要能够实现对硅外延装备的工艺参数进行监测、调控和记