薄膜电阻应变式压力传感器的研制

薄膜电阻应变式压力传感器的研制万 云，周引穗，梁 举，王 辉（西北大学 物理学系， 陕西 西安，710069）摘 要：基于应变片式压力传感器工作原理，采用镀膜、光刻技术，以石英、Al2O3陶瓷为基底，