精选半导体材料与工艺之多晶硅锭定向凝固生长方法
- 实现多晶硅定向凝固生长的四种方法:布里曼法热交换法电磁铸锭法浇铸法 - 8.5.1 铸锭浇注法 - 铸锭浇注法于1975年由Wacker公司首创
精选半导体材料与工艺之多晶硅锭定向凝固生长方法