PVD改性RB-SiC反射镜表面缺陷处理方法研究的中期报告

PVD改性RB-SiC反射镜表面缺陷处理方法研究的中期报告中期报告：1.研究背景和意义：PVD（Physical Vapor Deposition）技术因其高显影率、成本低廉、速度快等优点，在现代制造