化学机械抛光实验

2.2.2化学机械抛光实验本实验所用仪器为：AM Technology Co., Ltd.生产的水平旋转研磨机和单而抛光机。本 实验所用样品包括2英寸蓝宝石衬底，2英、自支撑GaN衬底以及2英、蓝宝石