mems在医学中的应用与发展

MEMS在医学中的应用与发展李晓云 机电学院 2120140162序言一个公认的事实是微电子是20世纪最有影响力的技术之一[1]。近半个世纪以来，微电子从粗糙的单一电晶体到集有数百万颗电晶体的微电脑