油扩散泵的结构及其工作原理

油扩散泵油扩散泵是用来获得高真空度或超高真空度的重要设备，其主要特征尺寸为泵入口直径，当入口直径确定之后，其他连接尺寸和主要性能参数都有标准规定，在《真空设计手册》上均可查到。扩散泵的入口直径在65-