IMO(In-%2c2-O-%2c3-：Mo)透明导电薄膜及其在硅基薄膜太阳能电池应用的研究

河北工业大学硕士学位论文IMO(In2O3:Mo)透明导电薄膜及其在硅基薄膜太阳能电池应用研究摘 要本文利用电子束蒸发的方法，以掺杂 Mo 的 In2O3 陶瓷靶为靶材，在普通玻璃衬底上制备了可用于硅