粒子入射条件对28 nm SRAM单元单粒子电荷共享效应影响的TCAD仿真研究

粒子入射条件对28 nm SRAM单元单粒子电荷共享效应影响的TCAD仿真研究粒子入射条件对28 nm SRAM单元单粒子电荷共享效应影响的TCAD仿真研究摘要：随着集成电路技术的不断发展，芯片尺寸不