300mm硅单晶及抛光片标准

300mm硅单晶及抛光片标准有研半导体材料股份有限公司孙燕-、300 mm硅单晶及抛光片现状300min硅抛光片的产品、工艺技术在国外已经很成熟。 而在我国起步较晚，还处于试验阶段。因此对于集成电路