高频放电等离子体研究的开题报告

高频放电等离子体研究的开题报告一、选题背景高频放电等离子体是指将气体电离后，经过高频电场加热而形成的等离子态，又叫非热等离子体。它具有广泛的应用前景，如表面处理、材料加工、环境污染治理、新型光源等领域