基于SiOC低k介质及其掺杂薄膜的研究的任务书

基于SiOC低k介质及其掺杂薄膜的研究的任务书任务书题目：基于SiOC低k介质及其掺杂薄膜的研究背景：随着集成电路不断发展，集成度不断提高，电路愈加复杂，导电路径不断缩小，电路之间的距离也更近。这就给