离子束轰击Si及SiC的计算机模拟的综述报告

离子束轰击Si及SiC的计算机模拟的综述报告离子束轰击技术是一种重要的表面改性技术，在航空航天、半导体、能源等领域具有广泛的应用。对于硅材料和碳化硅材料的离子束轰击，计算机模拟的研究已经成为研究的重要