超薄硅基PIN高能粒子探测器的制造工艺和特性分析

超薄硅基PIN高能粒子探测器的制造工艺和特性分析 李科佳，王金延，于民，田大宇，张录，金玉丰 (dE京大学微电子研究院，北京，100871) 摘要：PIN硅基高能粒子薄探测器在空间探测、核物理检测、医