低气压射频等离子体的探针诊断方法

第 ４２ 卷 第 ３ 期２０２２ 年 ３ 月物 理 实 验Ｖｏ ｌ． ４２ Ｎｏ． ３ＰＨＹＳ ＩＣＳＥＸＰＥＲＩＭＥＮＴＡＴＩＯＮＭａ ｒ．， ２０２２櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶