磁控溅射法制备BT-NZF复相薄膜及其电磁与屏蔽性能研究

磁控溅射法制备BT-NZF复相薄膜及其电磁与屏蔽性能研究摘 要：本文报道利用磁控溅射法在无氧条件下制备了一种新型的BT-NZF复相薄膜，并对其电磁与屏蔽性能进行了研究。首先通过X射线衍射仪、扫描电子显