洁净室的压差控制方法及控制要求

洁净室的压差控制方法及控制要求【 摘 　要 】 　对洁净室常用的压差控制方法进行归纳及讨论，总结了洁净室压差控制的要求。本文从便于实现压力控制和节能的角度出发 , 提出了对洁净室的压差风量进行主动控制