24对棒多晶硅还原炉模拟及热应力分析的任务书
24对棒多晶硅还原炉模拟及热应力分析的任务书一、任务背景随着现代工业的不断发展,硅材料的需求量不断增大。而多晶硅是制备单晶硅的原料,是高纯度硅材料的重要来源。然而,多晶硅的制备对反应物的纯度要求极高,
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