半连续式真空镀膜机电阻加热式蒸发源排列的探讨

半连续式真空镀膜机电阻加热式蒸发源排列的探讨半连续式真空镀膜机电阻加热式蒸发源排列的探讨摘要：半连续式真空镀膜机是一种常用的表面处理设备，其蒸发源是其中重要的组成部分。本文重点探讨了电阻加热式蒸发源的

半连续式真空镀膜机电阻加热式蒸发源排列的探讨 半连续式真空镀膜机电阻加热式蒸发源排列的探讨 摘要： 半连续式真空镀膜机是一种常用的表面处理设备，其蒸发源是其中 重要的组成部分。本文重点探讨了电阻加热式蒸发源的排列方式对膜层 均匀性和镀膜效率的影响。结果表明，合理的蒸发源排列方式能够有效 提高膜层均匀性和镀膜效率，为半连续式真空镀膜机的应用提供了参考 依据。 关键词： 半连续式真空镀膜机；电阻加热式蒸发源；排列；膜层均匀性；镀 膜效率 1.引言 半连续式真空镀膜机是一种广泛应用于材料制备、表面改性等领域 的表面处理设备。其基本原理是在高真空环境下，将固态材料加热蒸发 产生气相分子，并使其在基底表面冷凝生成薄膜。实现对材料物理、化 学性质的改变和表面功能的增强。其中，蒸发源的性能和排列方式是影 响膜层均匀性和镀膜效率的重要因素。 电阻加热式蒸发源是一种常见的蒸发源类型，其优点是加热快速、 稳定性好、控制精度高等。然而，不同的蒸发源排列方式会对镀膜的均 匀性和效率产生显著影响，因此需要进行深入研究。 2.试验及结果 在半连续式真空镀膜机中，选择SiO2作为靶材，制备了4种不同 排列方式的电阻加热式蒸发源，具体参数如下：电阻丝长度为30mm， 直径为0.3mm，蒸发部位直径为20mm，距离基底的距离为120mm。 其中，排列方式包括直线排列、交叉排列、六边形排列和圆形排列，见