基于平面环形微腔的高精度位移传感器的设计及工艺方法研究

基于平面环形微腔的高精度位移传感器的设计及工艺方法研究基于平面环形微腔的高精度位移传感器的设计及工艺方法研究摘要：基于平面环形微腔的高精度位移传感器具有精度高、解析度高、响应速度快等优点，在微纳制造领