项目名称：表面等离子体超分辨成像光刻基础研究首席科学家：

项目名称：表面等离子体超分辨成像光刻基础研究首席科学家：罗先刚 中国科学院光电技术研究所起止年限：2011.1至2015.8依托部门：中国科学院二、预期目标3.1本项目总体目标本项目以国家在国民经济