过氧化物体系可循环再生型微蚀液的研究

过氧化物体系可循环再生型微蚀液的研究摘要通过对过氧化物体系可循环再生型微蚀液的研究，本文得出了一组处理参数，使得该微蚀液在无需更换的情况下，可以循环再利用。该微蚀液可以不仅可以用于多种金属的微蚀加工，

过氧化物体系可循环再生型微蚀液的研究 摘要 通过对过氧化物体系可循环再生型微蚀液的研究，本文得出了一组 处理参数，使得该微蚀液在无需更换的情况下，可以循环再利用。该微 蚀液可以不仅可以用于多种金属的微蚀加工，而且可以大大减少对环境 的污染。 关键词：过氧化物体系，可循环再生型，微蚀液，污染 Abstract Throughthestudyoftherecyclablemicro-etchingsolutionof theperoxidesystem,thispaperhasdevelopedasetofprocessing parametersthatallowsthesolutiontoberecycledwithout replacement.Thismicro-etchingsolutioncannotonlybeusedfor micro-etchingofvariousmetals,butitcanalsogreatlyreduce environmentalpollution. Keywords:peroxidesystem,recyclable,micro-etching solution,pollution 一、引言 现代工业发展中，微细加工技术越来越受到重视。微蚀是其中一项 重要的技术手段之一，被广泛应用于制作微电子元件、微光学元件、微 机械元件等领域。以往，微蚀液的使用过程中会产生大量的有害废液， 污染了环境。为解决这一问题，科学家们开始研究制备可循环再利用的 微蚀液，或称为废液无废液处理的微蚀液。本文主要研究基于过氧化物 体系可循环再生型微蚀液的制备及其适用性。 二、实验部分 2.1实验材料 氢氧化钠(NaOH)、双氧水(H2O2)、硝酸(HNO3)、铜板(Cu)、铜箔 2.2实验步骤