金属微光栅及金属微柱阵列结构的制作工艺

金属微光栅及金属微柱阵列结构的制作工艺金属微光栅及金属微柱阵列结构的制作工艺摘要金属微光栅及金属微柱阵列结构被广泛应用于微纳制造、光学、电子和传感等领域。本文综述了金属微光栅及金属微柱阵列结构的制作工