溅射和退火工艺参数对多晶硅薄膜结构和性能的影响

Classified Index: TM23U.D.C.: 31.Dissertation for the Master Degree of EngineeringTHE EFFECT OF MAGN

腾讯文库溅射和退火工艺参数对多晶硅薄膜结构和性能的影响