溅射法制备铜锌锡硫薄膜材料的经验总结溅射薄膜

溅射法制备铜锌锡硫薄膜材料的经验总结_溅射薄膜摘要：本文回顾了溅射法制备CZTS的若干历史文献，并主要就元素比例、溅射顺序、靶材选择、基片温度四个方面的经验做了总结。　　关键词：铜锌锡硫；CZTS；溅