sic单晶的表面清洗和化学蚀刻的研究

国内图书分类号：V254.2国际图书分类号：430.25工学硕士学位论文学校代码：10213密级：公开SiC 单晶的表面清洗和化学蚀刻研究硕 士 研 究 生 ： 赵淑贞导 师 ： 甘 阳 教授申 请