热载流子效应对MOSFET可靠性的影响

热载流子效应对MOSFET可靠性的影响摘要：热载流子是器件可靠性研究的热点之一。特别对于亚微米器件，热载流子失效是器件失效的一个最主要方面。通过对这种失效机理及其失效模型的研究，为设计和工艺提供帮助，