基于DSMC方法的涡轮分子泵跨流态抽气性能研究

基于DSMC方法的涡轮分子泵跨流态抽气性能研究基于DSMC方法的涡轮分子泵跨流态抽气性能研究摘要：涡轮分子泵是一种常用的高真空抽气装置，具有体积小、轻量化、高抽速等特点，被广泛应用于航空航天、真空冶金