2021年半导体工艺化学实验报告

半导体工艺化学实验报告 实验名称：硅片的清洗 实验目的：1.熟悉清洗设备 2.掌握清洗流程以及清洗前预准备 实验设备：1.半导体兆声清洗机（SFQ-1006T） 2.SC-1；SC